10.3321/j.issn:1671-5489.2006.05.023
金刚石膜制备工艺对其应力-应变特性的影响
研究了在直流热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积制备金刚石厚膜的工艺过程中,放电电流和甲烷浓度对金刚石膜应力-应变特性的影响规律.
化学气相沉积、金刚石膜、应力-应变
44
O484.5(固体物理学)
国家高技术研究发展计划863计划2002AA325090
2006-10-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
784-786
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10.3321/j.issn:1671-5489.2006.05.023
化学气相沉积、金刚石膜、应力-应变
44
O484.5(固体物理学)
国家高技术研究发展计划863计划2002AA325090
2006-10-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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784-786
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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