溅射于NiMnCo上的TiO2薄膜的结构与相变

摘要：

利用射频磁控溅射方法以纯金属钛做靶材在氩氧混合气体中制备了TiO2薄膜. X射线衍射结果表明, 在NiMnCo合金基底上成功地沉积了具有金红石、金红石/锐钛矿和锐钛矿结构的TiO2薄膜, 工作气压从0.2 Pa变化到2 Pa, TiO2薄膜的结构由金红石相变到锐钛矿相. 低于600 nm时, 厚度对TiO2薄膜结构没有明显影响.

关键词：TiO2薄膜、XRD光谱、金红石、锐钛矿

所属期刊栏目：43

分类号：O647.2(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA305507

在线出版日期：2005-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：517-520