1级洁净室在工程中的应用

摘要：

本文从洁净室空调净化设计所采用的0.1μm无隔板超高效空气过滤器的性能、液槽密封装置、自动控制、防微振措施及测试效果等方面介绍了1级洁净室(美国联邦标准-209E对于0.1μm粒子,≤35.0粒/ft3)在工程中的应用情况.

关键词：洁净室设计、0.1μm超高效过滤器、自控、效果

分类号：TM92

在线出版日期：2005-01-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：25-28,35