10.3969/j.issn.1008-3103.2022.06.001
半导体金属氧化物式氢气传感器的研究进展
在各种类型的氢气传感器中,化学电阻传感器由于其结构简单和低成本而成为最有应用前景的氢气传感器之一,而其中半导体金属氧化物材料(SMO)传感器由于表现出高稳定性、快速响应、易于制造等特点,近年来得到了广泛的研究.本文介绍了金属氧化物半导体式氢气传感器的传感机制,从纯SMO基材料、催化剂掺杂SMO基材料和SMO基复合材料等改性材料研究中总结出敏感响应性与纳米结构、表面化学和电子性能的相关性,最后简要讨论了金属氧化物半导体氢敏材料及传感器的研究难点及研发方向.
氢气传感器、半导体金属氧化物、改性
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TN386.1;TB383;TP212.14
广东省市场监督管理局科技项目;广东省重点领域研发计划项目;广东省重点领域研发计划项目
2023-01-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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