10.3969/j.issn.1008-3103.2020.06.024
管式PECVD工艺对太阳电池镀膜颜色均匀性的影响研究
高效单晶PERC电池为当前太阳电池产业中主要的大规模扩张方向,其主要的生产流程包括制绒、磷扩散、掺杂、刻蚀、PECVD、丝网印刷、烧结等工序,其中PECVD工序负责光学减反射氮化硅薄膜的制备和表面钝化的重要任务,其对高效单晶PERC电池的外观和效率起到重要影响.本文通过设计改变管式PECVD工艺中的新旧卡点选用和石墨舟运行次数的参数,探索了影响镀膜颜色的均匀性的规律,得出了有利于改善镀膜颜色均匀性的结论.
高效单晶PERC、管式PECVD、镀膜颜色均匀性、标准差、控制变量法
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江西省教育厅科学技术研究项目;江西省高校人文社会科学研究项目
2021-01-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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