10.3969/j.issn.1008-3103.2015.01.006
微系统及其加工方法的介绍
微细加工技作为现代加工技术的延伸,是二十一世纪的关键技术之一.本文介绍了微机电系统的原理及特点,列举了一些微机电系统中所涉及到的微细加工方法,并阐述了其发展及应用.
微机电系统、微细加工技术、微机电、微电子
TN4;TN3
2015-05-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
16-17
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10.3969/j.issn.1008-3103.2015.01.006
微机电系统、微细加工技术、微机电、微电子
TN4;TN3
2015-05-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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