基于特征函数的空间点光强快速算法优化

摘要：

讨论了部分相干成像系统空间点光强的一种近似算法--即通过特征值分解的方法将部分相干成像系统的Hopkins公式展开为N阶相干系统之和的相干系统与双线性系统算法,并提出了优化的N取值方案.该方案充分考虑了光刻系统参数对N取值的影响.实验结果证明,采用了新的N取值方案的近似算法是一种高精度算法.

关键词：空间点光强、Hopkins公式、特征函数、相干系统与双线性系统

所属期刊栏目：6

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金60574001

在线出版日期：2008-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：518-522