10.3969/j.issn.1671-7147.2006.04.028
基于CAN总线的洁净室控制系统设计与开发
研究了CAN总线技术在洁净室控制系统中的应用,介绍了CAN总线及CANopen协议的特点,并给出了洁净室控制系统的解决方案.从现场测试结果看,系统有较好的稳定性和高精度的温度控制,满足了半导体行业的生产要求.
现场总线、洁净室、风机过滤单元
5
TP183(自动化基础理论)
2006-09-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
489-492
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10.3969/j.issn.1671-7147.2006.04.028
现场总线、洁净室、风机过滤单元
5
TP183(自动化基础理论)
2006-09-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
489-492
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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