空间激光通信光学系统中近红外激光高反射膜的研制

摘要：

针对空间激光通信光学系统在800±5 nm和 1550±5 nm收发效率大于98％的要求,采用Essential Macleod膜系设计软件结合物理气相沉积设备,在微晶玻璃上完成了空间激光通信光学系统中近红外反射膜的研制.提出行星夹具补偿挡板的修正方法,可将口径300 mm基片的薄膜厚度均匀性提高至99％.利用Lamda1050 光谱仪测试了反射镜的光谱曲线,结果表明所研制的膜层在800±5 nm和 1550±5 nm处反射率均值分别为99.3867％和99.1717％,满足技术指标要求.对实验样品开展了面形、附着力和高低温等环境适应性试验,试验结果满足空间激光通信光学系统使用要求.

关键词：空间激光通信、光学薄膜、近红外反射膜、膜层均匀性

所属期刊栏目：53

分类号：O439(光学)

资助基金：国家自然科学基金No.11947060

在线出版日期：2023-04-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：444-448