20×Mirau型白光干涉显微物镜的设计

摘要：

对于具有动态特性的MEMS陀螺仪表面形貌的检测,采用传统接触式检测方式难以实现.本文设计一款无限远场校正的20×Mirau型白光干涉显微物镜成像系统,实现对MEMS陀螺仪无接触式的表面缺陷检测.系统工作于可见光波段,数值孔径NA=0.3,放大倍率为20倍,工作距离3.1 mm,总体长度为45.85 mm.系统包含光学成像部分和Mirau型干涉部分,光学成像部分的成像质量接近衍射极限,各项设计指标均满足要求;通过VirtualLab软件对干涉物镜进行光路的干涉仿真并得到清晰的干涉条纹,验证了设计的合理性.

关键词：白光干涉、显微物镜、Mirau、光学设计

所属期刊栏目：52

分类号：O435(光学)

在线出版日期：2022-09-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1402-1406