面向SOI波导-单模光纤耦合的硅微透镜设计

摘要：

硅光集成的优势在高速光电子领域不断凸显,被广泛应用于各种通信场景中.在硅基集成技术发展过程中,其面临的一个典型技术难点是硅波导与单模光纤的耦合.本文设计了波导边缘集成的硅微透镜结构,经BPM法(Beam Propagation Method)计算验证该结构可实现3μm厚SOI波导与纤芯直径8.6μm单模光纤90％的近场耦合效率,具备高集成度、高耦合效率、多场景适用等优点.

关键词：硅波导、单模光纤、硅微透镜、耦合、集成

所属期刊栏目：52

分类号：TN256(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2022-09-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1395-1401