光纤F-P腔干涉纳米级位移高分辨率测量

摘要：

激光抗干扰性好、复用能力强,光纤F-P腔干涉仪结构简单、灵敏度高,适于纳米级位移测量.为了进一步提高分辨率,扩展测量范围,本文对光纤F-P腔干涉信号的相位和功率进行分析.首先给出了二倍次方功率和分辨率的关系,找出了提高分辨率的途径.然后给出了二倍次方功率和干涉条纹变化的关系,确定了测量条件.最后根据光纤波在F-P腔内干涉形成的滞后相位,通过多次希尔伯特变换,实现了待测物体位移重构.数值模拟和实验证明了该方法能够实现高分辨率纳米级位移测量,误差小.

关键词：光纤F-P干涉、纳米位移测量、二倍次方、多重希尔伯特变换

所属期刊栏目：52

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：黑龙江省省属本科高校引导性创新基金项目No.2019QNQ-01

在线出版日期：2022-09-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1390-1394