甚长波碲镉汞探测器的注入区扩散研究

摘要：

在碲镉汞甚长波320×256探测器上制备了不同注入区光刻尺寸的区域,通过对不同区域的信号及注入光刻尺寸的关系进行分析对比和数据拟合,获得了不同温度下的扩散距离和单位有效光敏面积在单位时间的响应电压,对于碲镉汞甚长波探测器的器件版图设计和性能提升提供了可靠的数据支撑.

关键词：甚长波、碲镉汞、注入区

所属期刊栏目：52

分类号：TN213(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2022-09-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1374-1377