基于多波长光学系统结构的透射波前检测

摘要：

基于多波长波前检测技术的实际需要,设计了多波长激光干涉仪光学结构.结构基于菲索干涉原理,使用分光棱镜集成5个波长的激光光源.通过笼式系统减小了光学结构各部分的同轴误差,采用消色差镜头作为干涉系统的准直系统和成像系统,缩短了调整准直系统行程的同时,也减小了系统内部光学系统的色差.使用该光学结构对光学系统进行测量,采用转换多项式法计算的Zernike系数-波长曲线符合预测结果.多波长激光干涉仪光学结构提高了多波长透射波前的检测效率,有利于多波长透射波前检测技术的工程化和推广,并为新仪器的开发提供了借鉴.

关键词：透射波前、激光干涉仪、光学系统、Zernike系数

所属期刊栏目：52

分类号：TB96(计量学)

资助基金：国家重点研发计划No.2016YFF0101903

在线出版日期：2022-08-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：1064-1072