三维集成技术在红外探测器中的应用

摘要：

红外探测器被广泛应用于红外侦查、预警、制导、遥感等领域.近些年来,随着应用需求的不断牵引,红外探测器在保持高空间分辨率、高温度灵敏度的同时,还需兼顾向小型化、集成化的发展.传统的单片式信号处理电路在极限性能、功能集成度方面已难以满足未来红外系统的发展需求,基于三维集成技术的红外探测器逐步成为解决方案之一,本文对微电子器件三维集成技术进行了简要介绍,列举了国外相关研究机构利用三维集成技术研制红外探测器的进展,探讨了三维集成技术在红外探测器研制中面临的挑战.

关键词：三维集成;红外探测器;应用;挑战及发展趋势

所属期刊栏目：52

分类号：TN215(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2022-03-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：163-169