集成式偏振红外焦平面探测器的制备

摘要：

集成式偏振红外焦平面探测器是红外探测器应用的新的发展方向,国内近几年开展了相关的研究工作,本文围绕集成式长波320×256碲镉汞偏振红外焦平面探测器的研制,叙述了从技术路线选择到偏振结构的设计、制备等方面开展的工作及阶段测试结果,这些工作为后续的研制打下了良好的基础.

关键词：集成偏振探测器、光刻、偏振对比度

所属期刊栏目：49

分类号：TN216(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2019-11-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1234-1238