基于激光选区熔化的低畸变F-theta场镜设计

摘要：

设计了一款适用于激光选区熔化的F-theta镜头,该系统由三片透镜组成,且透镜选用红外波段常用的ZnSe材料,镜头总长约89 mm,成型面积为260 mm×260 mm,结构紧凑,制作简单,成本低.聚焦性能好,所有视场下像面的光斑大小均达到衍射极限25μm以下、90％能量集中于50μm的光斑内、相对线性畸变小于0.05％,满足本设计中用于激光选区熔化零件成型的高精度要求.

关键词：激光选区熔化、F-theta镜、低畸变、光学设计

所属期刊栏目：49

分类号：TN249;TH741.1(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2019-05-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：493-496