液相外延碲镉汞薄膜的表面损伤研究

摘要：

HgCdTe薄膜表面损伤层厚度测试对其加工工艺及其重要.本文采用白光干涉仪对HgCdTe薄膜表面粗糙度测试,并与损伤层厚度对比,研究发现粗糙度值达到稳定值后,上一步工艺引入的表面损伤已经完全去除,表面的损伤为抛光工艺引入的损伤.这一方法,既能方便快捷地确定损伤层是否完全去除,又未对测试样品产生破坏.

关键词：碲镉汞薄膜、损伤层厚度、白光干涉仪、表面粗糙度

所属期刊栏目：49

分类号：TN213(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2019-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：73-76