碲镉汞材料双面平坦化工艺研究

摘要：

通过对30 mm×25 mm尺寸的碲镉汞材料和器件进行双面平坦化工艺,使其平面度达到与Si读出电路互连要小于2 μm的要求,提高了MW1280×1024焦平面器件互连成品率.

关键词：碲镉汞、双面平坦化、平面度、倒装互连

所属期刊栏目：47

分类号：TN213(光电子技术、激光技术)

资助基金：国防基础科研计划项目JCKY2016210B002

在线出版日期：2017-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：992-995