飞秒激光辅助制备熔石英表面的网格状微流体

摘要：

报道了一种利用飞秒激光直写后再用化学腐蚀熔石英表面制备得到网格状微流体沟道,然后在其表面覆盖一层PDMS薄膜制备网格状半密闭微流体通道的方法.微流体沟道的形成机制可以定义为飞秒激光辐照导致基底材料改性,而改性区域对HF水溶液的溶解度增强.使用光学显微镜和扫描电子显微镜(SEM)表征了网格状微流体通道的形貌.此外,为了测试该微流体结构的流动特性,进行了液体注入实验.

关键词：网格状微流体、飞秒激光、直写、液体注入

所属期刊栏目：47

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金重大项目11574221

在线出版日期：2017-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：948-952