长波长线列碲镉汞焦平面器件拼接工艺研究

摘要：

长波5000元长线列碲镉汞焦平面器件由5个长波1000元混成芯片在拼接基板上交错排列组成。本文采用拼接互连设备的正贴方法进行单模块与拼接基板的拼接，试验结果表明：该拼接方法的拼接位置精度在X和Y轴方向均小于8μm，在Z轴方向小于15μm，满足需求。

关键词：长波、长线列、碲镉汞、红外焦平面、拼接工艺

所属期刊栏目：47

分类号：TN214(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2017-03-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：58-61