多功能光纤端面激光宽带减反射膜的应用研究

摘要：

在光学系统中，设计了一种新型的近红外光纤宽带激光减反射膜，应用波段为800～1300 nm，能够同时适用于多波段大功率半导体激光器并具备较高损伤阈值。通过选择合适的光学材料，利用 TFCalc 软件仿真，调整最佳的工艺参数，采用热蒸发式真空镀膜机及 RF 离子源辅助沉积的方法，解决了小口径光纤端面的清洁和低温镀膜时膜层的牢固性等问题，实验采用 Agilent CARY6000i 型光波测量系统对镀膜后的样品进行光谱分析，实验结果显示，该减反射膜在800～1300 nm 平均透射率为99．2％。分别用单管808 nm、980 nm 和1064 nm 半导体激光器为光源测得多模光纤镀膜后的输出功率较镀膜前均有明显提高。该膜层有效地提高了大功率半导体激光器与光纤的耦合效率具有更好的应用价值和实用意义。

关键词：真空镀膜、多模光纤、减反射膜、半导体激光器、损伤阈值、耦合效率

所属期刊栏目：46

分类号：O484.5(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金合作项目No．11474037资助。

在线出版日期：2016-11-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1279-1283