高精度透射式光电定心仪的研究

摘要：

针对目前定心仪产品精度不高、结构复杂且形式单一的现状，在对传统透镜表面反射像定心法、球心自准像定心法和光学电视定心法的不足进行分析的基础上，提出了一种高精度透射式光电定心仪研究方法。系统采用激光为光源，设计了扩束准直系统，使入射到待测透镜上的为发散角极小的平行光；利用位置敏感探测器 PSD 测量经过待测透镜会聚的光斑重心坐标，来判断是否实现精确定心。该定心仪结构简单、测量方便，可在测量范围＋∞≥R≥－∞内，达到1μm 的定心精度，在透镜加工领域具有很广阔的发展前景。

关键词：定心仪、透射式、高精度、扩束准直、PSD

所属期刊栏目：46

分类号：O439(光学)

资助基金：吉林省科技厅项目No.20100610资助。

在线出版日期：2016-11-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1110-1112