飞秒激光加工 SiC 模型参数优化设计研究

摘要：

开展飞秒激光与 SiC 相互作用机理研究，探索飞秒激光加工 SiC 材料的作用机理与激光功率密度阈值、脉冲宽度、频率、重叠率等参数的相互影响，这其中增加了在激光脉冲宽度范围内由于多种因素的影响，导致自由电子密度减少的因素；考虑了飞秒激光光束在被加工材料传输过程中由于被加工材料表面反射而造成的损失量，以及由于激光束电离后光电子与晶格发生碰撞而“反射、散射”造成的能量损失，从而对现有作用机理进行理论模型优化，通过比较研究和实验验证自由电子密度，为飞秒加工过程中激光与材料相互作用研究提供分析和参考。

关键词：飞秒激光、SiC、自由电子密度、电子晶格温度

所属期刊栏目：46

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：天津市高等学校科技发展基金计划项目No．20130402资助。

在线出版日期：2016-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：949-953