反射镜热畸变对激光光束质量影响的研究

摘要：

基于热传导理论，建立了高斯光束辐照硅反射镜的物理模型，利用多物理场数值分析软件 COMSOL Multiphysics 求解热传导方程，仿真计算得到镜面表面温度分布曲线以及镜面变形曲线，进一步结合光学仿真软件模拟计算，研究得到 Si 反射镜镜面的热畸变对输出光束质量的影响。结果表明：随着激光辐照时间的增大，反射镜热变形越显著，输出光束质量β因子越大，但β值的变化首先较快而后趋于平缓。随着辐照激光功率的增加，反射镜热变形越大，输出光束质量β因子不断增大。

关键词：反射镜、热变形、光束质量、辐照时间、激光功率

所属期刊栏目：46

分类号：TN248(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2016-04-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：284-288