CaF2基底上近红外区宽带增透膜的研究

摘要：

以CaF2为基底设计了一种近红外区的宽带增透膜,增透波长为0.9～1.7 μm.分析了宽带增透膜初始结构的基本设计原则.分别以TiO2和SiO2作为高低折射率材料,采用电子束蒸发物理气相沉积(EBPVD)的方法进行工艺制备.利用岛津分光光度计对样品的透过率进行测量,样品双面镀制该膜系,测试结果表明样品的平均透过率达98.95％,与设计结果基本符合,具有宽带的增透特性.环境测试表明:该薄膜具有良好的附着力和牢固度,可以应用于对产品可靠性要求较高的环境中.

关键词：薄膜、电子束蒸发物理气相沉积、透过率、环境测试

所属期刊栏目：46

分类号：O484(固体物理学)

在线出版日期：2016-04-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：76-80