摆臂式干涉仪光程差扫描模型及其仿真

摘要：

为实现摆臂式干涉仪光程差（OPD ）随时间的线性变化，需要摆臂式干涉仪作变速摆动。为此，在分析摆臂式干涉仪光程扫描系统组成的基础上，对干涉仪的电气特性进行了研究，在saber软件中建立了摆臂式干涉仪光程差扫描模型。为验证模型的正确性，将PID算法应用到摆臂干涉仪模型仿真中，研究了干涉仪系统的单位阶跃响应，确定了摆臂式干涉仪PID控制算法的各项参数。仿真结果表明，该模型可用于模拟摆臂式干涉仪光程差扫描过程，能够为干涉仪扫描控制系统的设计提供参考。

关键词：仿真模型、摆臂式干涉仪、PID算法、saber软件

分类号：TP391.9(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划项目No．2013AA065502资助。

在线出版日期：2015-08-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：821-824