平面PN结InSb红外焦平面探测器的研究

摘要：

研究了基于Be离子注入技术的平面型和Cd扩散技术的台面型锑化铟红外焦平面阵列（IRFPA）探测器芯片工艺流程。并进行了芯片I－V、成像结果等对比测试，Be离子注入平面型器件和扩散台面型芯片的性能水平相当，具备一定的工程应用水平。

关键词：锑化铟、离子注入、红外焦平面阵列探测器、平面结

分类号：TN213(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2015-08-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：814-816