10.3969/j.issn.1001-5078.2015.05.002
VGF 法生长半导体晶体的研究进展
VGF 法可实现晶体生长条件可控,晶体重复性好,所生长晶体尺寸大、位错密度低、应力小,是一种很有前景的晶体生长方法。本文综述了 VGF 法生长半导体晶体、数值模拟和磁场应用的国内外研究进展。
VGF 法、半导体晶体、晶体生长
O73(晶体物理)
2015-06-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共7页
476-482
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10.3969/j.issn.1001-5078.2015.05.002
VGF 法、半导体晶体、晶体生长
O73(晶体物理)
2015-06-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共7页
476-482
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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