室温相变氧化钒薄膜的制备及其C O2激光毁伤试验

摘要：

军事目标的抗强激光毁伤是亟待解决的热点难点问题，利用氧化钒的相变特性进行激光防护是当前这一领域的热点之一。本文采用直流磁控溅射加后续热处理的方法在普通玻璃基底上制备了氧化钒薄膜，通过测量其电阻温度特性曲线来观测其相变特性，并利用功率为8.9 W、光斑直径为4.4 mm的二氧化碳连续激光分别照射用作基底的普通玻璃和制备的相变氧化钒薄膜样品进行激光毁伤试验。试验数据显示该薄膜的相变温度约为30°C，薄膜的双向光谱反射率在相变前后分别为13.48％和76.4％，用作基底的玻璃在激光照射7.5 s后破碎，而制备的薄膜样品在照射38 s后才破碎。这表明本文制备的室温相变氧化钒薄膜在相变后具有高反射特性，从而具有一定的抗强激光毁伤能力。

关键词：激光防护、氧化钒薄膜、相变、磁控溅射

分类号：TB381(工程材料学)

资助基金：脉冲功率激光国家重点实验室主任基金项目No.SKL2013ZR03；红外与低温等离子体安徽省重点实验室基金项目No.2010A001004D资助。

在线出版日期：2014-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1137-1142