低Al组分In1-x Alx Sb薄膜的MBE生长和优化

摘要：

采用分子束外延的方法进行了低Al组分In1-xAlxSb 薄膜的生长和优化。通过在InSb （100）衬底上外延生长一系列不同条件的In1-xAlxSb薄膜，分析总结了衬底的热脱氧特征以及InAlSb薄膜低Al组分（2％左右）的控制，探讨了退火和InSb缓冲层的优化等参数对In1-xAlxSb外延薄膜表面形貌和质量的影响。测试结果表明薄膜质量得到极大改进。

关键词：InSb(1 00)、铝、InAlSb、薄膜生长、优化

分类号：TN213(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2014-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1115-1118