原子力显微镜在材料器件工艺中的应用

摘要：

介绍了原子力显微镜在碲镉汞材料器件工艺测试方面的应用。应用其可以进行磨抛后材料表面的粗糙度测试，接触孔形貌，以及外延后衬底的表面形貌。通过合理的选择扫描参数和探针，可以直观得到样品的表面形貌，接触孔还可以得到孔的尺寸和孔底形貌。尤其在接触孔测试方面，原子力的精度更高，抗干扰能力强且扫描结果更为直观，准确。本文通过对碲镉汞材料器件工艺中不同类型样品测试的介绍，认为原子力显微镜在碲镉汞材料器件工艺测试中发挥了较大的作用。

关键词：原子力显微镜、形貌、接触孔

分类号：TN16(真空电子技术)

在线出版日期：2014-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：763-766