基于SOI悬浮波导的中红外热光调制器的分析

摘要：

设计了一种基于SOI(Silicon-On-Insulator)单模中红外低损耗悬浮脊波导的MMI-MZI型热光调制器.对单模悬浮脊波导和基于悬浮波导的调制器的参数进行了分析,并给出了工艺实现方法.在波长5.4 μm,采用3D-BPM(Beam Propagation Method)方法对热光调制器的模型进行了传输特性的仿真.结果表明在加热电极长度为3 mm时,热光作用区通过很小的温度变化△T=5.3℃时,可以实现消光比为-40 dB.该中红外器件尺寸大,设计和制作容差大,在中红外硅基光子学有着重要的应用.

关键词：中红外、悬浮波导、热光效应、调制器、集成光学

所属期刊栏目：43

分类号：TN256(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金项目61177055;国家重大基础研究发展计划项目2013CB6132105

在线出版日期：2013-12-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1248-1251