AlxGa1-xAs材料低Al组分PL测试技术的研究

摘要：

采用激光显微光致发光(PL)光谱仪测试了低Al组分AlxGal-xAs的室温显微光致发光谱,研究了光致发光测试方法的特点,结合文献中报道的低Al组分的经验计算公式,自主开发了能进行光谱数据处理和Al组分计算的VB应用程序,目前已进入实用化.结果显示,该程序的开发和应用是获取低Al组分AlxGa1-xAs材料Al组分的非常重要的表征手段,并为研究和优化AlxGa1-xAs材料生长工艺提供指导,同时还成为筛选用于制作器件工艺合格材料的重要依据.

关键词：AlxGa1-xAs、Al组分、光致发光

所属期刊栏目：43

分类号：TN213(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2013-10-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：928-931