电子器件无损检测光学微扫描显微热成像系统

摘要：

为了给半导体器件、印刷电路板和功率器件等电子器件提供细微热分析的手段,完成电子电路的故障检测、失效分析和可靠性检测等,本文基于非制冷焦平面探测器设计了一种新型的光学微扫描显微热像仪.介绍了系统的工作原理、系统构成、工作过程,研究推导了系统噪声等效温差(NETD)和噪声等效辐射率差(NEED)模型,为系统的设计提供了理论指导,基于Matlab完成了整个系统的图像采集处理界面设计.实际图像采集和处理结果表明了本系统设计的合理性.随着产品化,本系统将会用到其他需要显微热分析的场合,具有广泛的应用前景.

关键词：光学工程、光学微扫描显微热像仪、噪声等效温差、噪声等效辐射率差、电子器件、故障检测

所属期刊栏目：43

分类号：TN211(光电子技术、激光技术)

资助基金：河北省科学技术研究与发展计划应用基础研究计划重点研究基础项目11963545D;河北省自然科学基金F2010001268,F2010001286;燕山大学博士基金B431

在线出版日期：2014-05-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：779-784