GaN基紫外探测器发展概况

摘要：

基于宽禁带半导体材料的GaN基紫外探测器由于具有探测波长可调、工艺兼容性好、结构可多型化等优点,已成为近年来的研究热点.介绍了四种不同结构类型的紫外探测器:光导型、肖特基势垒、金属-半导体-金属、p-i-n结,并回顾了GaN基紫外探测器的的研究历程.

关键词：GaN、紫外探测器、光电二极管

所属期刊栏目：42

分类号：TN23;TN36(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2013-01-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1210-1214