10.3969/j.issn.1001-5078.2012.08.018
CdTe/Si复合衬底Ex-situ退火研究
复合衬底CdTe/ZnTe/Si的晶体质量是导致随后外延的HgCdTe外延膜高位错密度的主要原因之一,因此如何提高复合衬底CdTe/Si晶体质量是确保硅基碲镉汞走上工程化的关键所在.降低复合衬底CdTe/Si位错密度方法一般有:生长超晶格缓冲层、衬底偏向、In-situ退火和Ex-situ退火等,本文主要研究Ex-situ退火对复合衬底CdTe/Si晶体质量的影响.研究表明复合衬底经过Ex-situ退火后位错密度最好值达4.2×105 cm-2,双晶半峰宽最好值达60arcsec .
CdTe/Si、MBE、晶体质量、Ex-situ退火
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TN213(光电子技术、激光技术)
2012-10-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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