激光诱导荧光在低温等离子体诊断中的应用

摘要：

激光诱导荧光技术(LIF)应用到等离子体中已经有超过20年的历史,在等离子体处理中的应用也已经持续了十多年.激光诱导荧光系统可以用于刻蚀、溅射以及薄膜沉积等离子体源的诊断研究.离子密度和速度分布及对流、传播参数等,都可以用LIF直接测量或间接计算得到.LIF可以得到时间分辨和空间分辨的离子分布方程,可用于等离子体热力学和等离子体迁移的研究.

关键词：激光诱导荧光、等离子体诊断、半导体激光器

所属期刊栏目：42

分类号：TL65+3(受控热核反应（聚变反应理论及实验装置）)

在线出版日期：2012-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：365-371