激光微孔加工中调节孔锥度的算法研究

摘要：

基于超快激光倒锥孔微加工技术需要,提出了一种利用电光晶体的电光偏转原理调节光束产生动态精密微位移的方法.通过四块楔形电光晶体的特定方式组合,调节施加在电光晶体上的电压大小,可使出射光束产生动态的横向位移.在此方法的基础上施加旋转运动,可实现激光加工锥度可控的倒锥孔.本文介绍了横向位移的产生方法,分析了产生最大横向位移的影响参数,举例使用KDP,D- KDP,RTP等电光晶体,讨论了不同长度下,所产生的动态横向微位移范围.入射光束直径3 mm,电光晶体厚度3 mm,宽度30 mm,总长为210 mm,楔角α为0.3 rad,调节电压从0～ 90000 V时,RTP电光晶体可产生0～700 μm 的动态横向位移.

关键词：激光微加工、电光效应、倒锥孔、光楔

所属期刊栏目：42

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2012-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：263-267