用于红外探测器组件检测的超高灵敏度检漏仪

摘要：

提出了一种采用累积法进行超高灵敏度氦质谱检漏的先进技术,基于该技术及相关材料特殊处理工艺设计并研制出了新型超高灵敏度检漏仪器,检测灵敏度优于8×10-15 atm.cc/s.He,是常规氦质谱检漏仪器灵敏度的1000倍以上,已成功应用于红外焦平面探测器组件等长寿命真空电子元器件产品的研制和生产工艺检测中,也是高能粒子加速器、核物理学、航天产品等重要的超高密封产品重要的漏率检测仪器.

关键词：超高灵敏度、漏率、检漏仪、电抛光、真空除气

所属期刊栏目：41

分类号：TN21(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2012-03-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1327-1330