热处理对红外窗口镀层金属的影响

摘要：

采用直流磁控溅射法制备红外透过窗口Ge窗的镀层金属.分别讨论了热处理温度和热处理时间对Ge窗金属化体系力学特性的影响.用纳米压痕仪测试仪测试Ge窗金属化体系的显微力学特性,并用金相显微镜观测金属薄膜的表面形貌,发现退火温度对Ge窗片上的金属薄膜的力学特性有较明显影响.

关键词：热处理、红外透过窗口、金属薄膜、力学特性

所属期刊栏目：41

分类号：TN213(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2011-09-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：657-659