自适应遗传退火算法在薄膜椭偏测量中的应用

摘要：

将自适应遗传模拟退火混合算法应用于薄膜椭偏测量的反演问题中.由于模拟退火算法的基本思想是跳出局部最优解而得到全局最优解,因此将模拟退火思想引入到遗传算法,遗传算法和模拟退火算法相结合,组建自适应遗传模拟退火算法,从而综合了全局优化和局部搜索的特点,并通过模拟计算,验证了此方法在薄膜椭偏测量问题中的可行性及有效性,为解决薄膜椭偏测量的优化问题提供了新的思路.

关键词：模拟退火算法、遗传算法、自适应遗传模拟退火、椭偏测量、薄膜

所属期刊栏目：41

分类号：O484.5(固体物理学)

在线出版日期：2011-04-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：192-196