长波640×512元GaAs/AlGaAs量子阱红外焦平面探测器的研制

摘要：

量子阱红外探测器由于具有更高的材料均匀性和成品率,是红外探测技术研究的重点方向之一.本文通过突破材料外延、器件制备工艺、读出电路设计以及倒装互连等关键工艺技术,研制了长波640×512元GaAs/AlGaAs量子阱红外焦平面探测器.77 K下,器件的平均黑体响应率Rv为1.4×107 V/W,峰值探测率Dλ*为6.2×109 cm Hz1/2W-1,器件的盲元率达到了0.87%,响应率不均匀性5.8%,并在77 K下对探测器进行成像演示.

关键词：量子阱、焦平面、长波

所属期刊栏目：40

分类号：TN215(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2011-03-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1220-1223