面向工程化应用的量子阱红外探测材料制备研究

摘要：

为了得到高性能的量子阱红外探测材料,本文通过建立系统的材料设计、材料生长及材料表征体系,对面向工程化应用要求的单色以及双色红外探测的量子阱材料制备技术进行了较深入探索,并得到了相应部分器件的测试结果,实践证明,通过工艺与控制过程优化,量子阱红外探测材料的制备可实现高的可控性和稳定性.

关键词：量子阱红外探测器、分子束外延、材料、表征

所属期刊栏目：40

分类号：TN362(半导体技术)

在线出版日期：2011-03-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1215-1219