光路可调的红外透射方法检测键合质量

摘要：

基于红外透射原理,采用调节光路的冷光源方法搭建了晶片键合界面的质量检测系统.利用该系统可以很好的实现GaAs,InP材料的键合界面检测和刀片分离时的在线监测,同时本文以GaAs基分布布拉格反射镜(DBR)和InP基有源区键合为例,结合红外透视图像和薄膜转移照片分析,对键合表面处理方法进行了优化选择.试验表明该检测系统数据可靠,使用方便,为晶片键合条件及参数优化提供了实用平台.

关键词：键合、红外透射、布拉格反射镜(DBR)

所属期刊栏目：40

分类号：O472+.3;TN216(半导体物理学)

资助基金：国家自然科学基金项目60837001;国家高技术研究发展计划2007AA03Z410;深圳信息学院青年自然科学基金项目QN-08011

在线出版日期：2010-08-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：644-647