10.3969/j.issn.1001-5078.2009.02.018
背入射AlxGa1-xN 64×1线列焦平面太阳光盲探测器
在蓝宝石衬底上用MOCVD生长的材料制备了背入射Al0.42 Ga0.58 N/Al0.5 N P-IN型64元线列焦平面太阳光盲紫外探测器.测试了器件的光谱响应,其截止波长为285nm,在275nm峰值波长处的零偏电流响应率为20mA/W.测试了线列器件各元在5V反偏压下的暗电流,结果表明暗电流大约在10-8A数量级,暗电流分布均匀.线列器件各元的紫外光响应均匀性较好.
AlGaN、背入射、线列焦平面、太阳光盲、探测器
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TN23(光电子技术、激光技术)
2009-04-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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