650nm反射10.6μm透射的薄膜干涉滤光片

摘要：

针对波长为650nm和10.6μm的激光器,选用了ZnS和YbF<,3作为膜料,采用离子辅助沉积技术,在多光谱ZnS基底上制备了650nm反射10.6μm透射的薄膜干涉滤光片.通过对膜系设计和优化工艺参数的研究,解决了膜层牢固性,改善了薄膜的激光损伤阈值,并给出了综合测试结果和实测光谱曲线.

关键词：光学薄膜、硫化锌、离子辅助、激光损伤阈值

所属期刊栏目：38

分类号：TN305.8(半导体技术)

在线出版日期：2008-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：482-484