InSb阳极氧化膜组分和形貌分析

摘要：

利用X射线光电子能谱(XPS)分析了不同氧化条件下InSb阳极氧化膜的组成成分以及各种组分纵向分布;用观察在扫描电子显微镜(SEM)不同氧化条件下InSb阳极氧化膜的微观形貌.研究了InSb阳极氧化膜的化学和结构特性及其对自身电学性能的影响.为提高InSb阳极氧化膜制备工艺水平提供了有效参考.

关键词：阳极氧化、InSb衬底、电流密度

所属期刊栏目：38

分类号：TN305.5;TN362(半导体技术)

在线出版日期：2008-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：234-237