金刚石厚膜热残余应力三维模拟及失效分析

摘要：

运用ANSYS软件建立了三维轴对称有限元模型,对金刚石厚膜(φ40mm×1mm)内部和膜/钼基体界面处的热残余应力各个分量的分布作了全面的模拟,讨论了热残余应力对金刚石厚膜失效的影响.结果表明,金刚石厚膜内的热残余应力各个分量并非均匀分布,离界面越近,其值越大;界面处大的轴向拉应力和剪应力对于厚膜从基体上脱落有重要影响;在膜的上表面靠近外边缘局部区域内存在较大的径向拉应力和轴向拉应力,是造成膜开裂失效的原因;本文的三维有限元模型比以往的一维解析模型更全面,且能更合理地解释金刚石膜的失效现象.

关键词：金刚石厚膜、热残余应力、模拟、失效

所属期刊栏目：38

分类号：TB34;TB12;TB43(工程材料学)

资助基金：总装备部总装预研基金;西南交通大学校科研和教改项目;四川省应用基础研究计划

在线出版日期：2008-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：81-83