时间监控离子束溅射沉积倍频波长分离膜

摘要：

采用双离子束溅射技术、时间控厚方式制备波长532 nm绿光激光器用倍频波长分离膜.针对制备过程中产生的半波孔现象,在简单分析形成原因的基础上,采用分组厚度优化方式调整膜层厚度,从而制备出无半波孔的高品质倍频波长分离膜.为时间监控制备非规整膜系的厚度修正提供了一种切实可行的办法.

关键词：倍频波长分离膜、时间监控、双离子束溅射、半波孔

所属期刊栏目：37

分类号：O484;TN305.92(固体物理学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2001AA312100;中国科学院基金KGCX2-405

在线出版日期：2007-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：370-372